Évaporateur industriel à rectification à couche mince

Évaporateurs industriels de rectification à couche mince pour dépôt de précision

Obtenez une stabilité du vide inégalée (± 0.001 Pa) et une pureté du matériau de 99.999 % avec notre Évaporateur industriel à rectification à couche minceConçus pour la fabrication de semi-conducteurs, le revêtement optique, la production de panneaux solaires et la recherche avancée, nos systèmes sont conformes aux normes SEMI, CE et UL. Que vous souhaitiez développer la fabrication de puces à haut rendement ou optimiser les couches solaires CIGS, notre technologie garantit une évaporation rapide et sans contamination, avec une précision inégalée.

Pourquoi choisir nos évaporateurs à couche mince ?

Avantages de la technologie de base

• Système de buse de rectification de gaz : réduit la variation d'épaisseur à ± 3 % (contre ± 8 % dans les systèmes conventionnels), minimisant ainsi le gaspillage de matériau de 40 %.
• Contrôle spécifique à la longueur d'onde : ajustez les taux de dépôt pour les revêtements optiques entre 250 et 2 000 nm, idéal pour les couches antireflets TiO₂/SiO₂.
• Stabilité à haute température : maintient un vide de 0.1 Pa même à 400 °C, essentiel pour les applications pharmaceutiques ou MEMS sensibles à la chaleur.

Fabrication de semi-conducteurs

• Matériaux : Al, Cu, W
• Taille du substrat : jusqu'à 300 mm de plaquettes
• Débit : 300 wafers/heure

Production de composants optiques

• Matériaux : SiO₂, TiO₂, MgF₂
• Taille du substrat : lentilles de 300 mm
• Uniformité : rugosité RMS < 0.05 nm

Fabrication de panneaux solaires

• Matériaux : CIGS, CdTe
• Taille du substrat : 2 m²
• Vitesse de dépôt : 10 nm/sec

Recherche & Développement

• Chambres modulaires pour films hybrides organiques-inorganiques
• Intégration de l'API Python/LabVIEW

Conçu pour la conformité et l'évolutivité mondiales

Certifications

• SEMI S2/S8, CE, UL 1703, RoHS
• Approbations régionales : BIS (Inde), SNI (Indonésie)

Configurations modulaires

• Unité de base : chambre en acier inoxydable 316L, système de contrôle ABB
• Add-Ons:
• Pompes cryogéniques (<10⁻⁷ Torr)
• Moniteurs d'épaisseur in situ
• Compatibilité des outils de cluster

Retour sur investissement et fiabilité prouvés

Notre calculateur de retour sur investissement montre une période de récupération moyenne de 14 mois pour les fabricants d'énergie solaire utilisant Évaporateur industriel à rectification à couche mince, merci à:

• 20 à 30 % d'économies d'énergie par rapport à l'évaporation thermique
• Livraison à 99 % dans les délais avec une garantie d'un an

Approuvé par les innovateurs du monde entier

• Fonderie MEMS : augmentation du rendement de 22 % grâce aux capteurs de contamination in situ.
• OEM optique : réflectivité de 0.8 % atteinte sur les objectifs de 300 mm.
• Producteur solaire : capacité dimensionnée à 8 MW/an par système.

Un soutien flexible, à chaque étape du processus

• Assistance technique 24h/24 et 7j/7 : centres aux États-Unis, en Allemagne, à Singapour et au Brésil.
• Service localisé : interfaces multilingues (EN/ES/HI/CN) et adaptabilité à la tension du réseau (220 V–480 V).

Finition de surface et degré de vide

Force d'usine

Exposition

Emballage et transport

QFP

Comment le produit maintient-il la stabilité du vide pendant les processus à haute température ?

Nos buses de rectification de gaz brevetées ajustent dynamiquement la pression, garantissant une stabilité de ± 0.001 Pa même à 400 °C.

Peut-il gérer des substrats de grande surface pour la production de panneaux solaires ?

Oui, nos systèmes prennent en charge le dépôt rouleau à rouleau sur des substrats de 2 m² avec une uniformité d'épaisseur de 95 %.

Vos évaporateurs sont-ils compatibles avec les normes de tension régionales ?

Toutes les unités comprennent des modules d’alimentation auto-adaptatifs pour les réseaux 220 V–480 V, idéaux pour les marchés d’Asie du Sud-Est ou d’Amérique du Sud.

Quelles certifications détiennent vos systèmes ?

Nous pré-certifions les unités selon les normes CE, UL, BIS et SEMI, garantissant ainsi un dédouanement fluide.

Fournissez-vous des services d’étalonnage du taux de dépôt ?

Oui, nos techniciens proposent un étalonnage sur site à l’aide d’outils traçables NIST.

Contactez-Nous

• Configurations personnalisées en moins de 8 semaines

Email info@welloneupe.com pour Évaporateur industriel à rectification à couche mince Fichiers CAO, documents de conformité ou consultations d'ingénieurs en direct.